-
-
解決方案翼菲科技成立于2012年6月，總部位于山東省濟南市高新技術開發(fā)區(qū)，是一家集工業(yè)機器人研發(fā)和制造、控制系統(tǒng)開發(fā)、視覺系統(tǒng)開發(fā)、智能制造解決方案和設備提供于一體的國家級高新技術企業(yè)。
-
-
-
產品中心
-PRODUCT CENTER-
尋邊器
所屬分類：
產品詳情
- 產品描述
- 參數(shù)
- 安裝尺寸
-
- 被動式尋邊,與機器人配合縮短尋邊時間
- 100mm-300mm晶圓全兼容,一個機臺實現(xiàn)強大的兼容性;
- 小巧的Layout(150mm寬度),可在EFEM或工藝機臺內靈活布置。
關鍵詞:- 晶圓機器人
-
-
參數(shù)
- 適配晶圓材質 透明、半透明、不透明
- 兼容尺寸 4~12寸
- 尋邊時間 2.5-5sec
- 最高轉速 120rpm
- 尋邊方式 被動式(配合Robot)
- 尋邊精度 土0.05°
- 潔凈度等級 Classl@0.1um(驅動結構內部獨立排氣)
- 動力 低壓伺服電機,驅動器內置
- 廠務 DC48V士10%,2A
- 重量 3.5kg
- 尺寸 150W*322D*212H
-
-
服務熱線：
濟南總部：山東省濟南市高新技術開發(fā)區(qū)航天大道普翼機器人產業(yè)園
杭州子公司：杭州市蕭山區(qū)蕭山經濟開發(fā)區(qū)鴻興路477號蕭山機器人小鎮(zhèn)二期4幢
上海子公司：上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)飛渡路55號5號廠房A區(qū)
郵箱：marketing@robotphoenix.com
掃一掃，關注翼菲
